公开介绍
HUN-REN 能源研究中心下属的微纳技术研究实验室（MicroNanoTechLab），由微系统实验室与纳米传感器实验室组成，利用硅与聚合物微纳加工技术研发集成传感器、传感器系统、MEMS 与 BioMEMS 器件。
截图
公开资料
核心功能摘要
以微纳加工与洁净室工艺为核心，提供从传感器研发到小批量制造的技术服务。
公开亮点
匈牙利独有的微纳加工基础设施 10 级洁净室支持 3/4 英寸衬底 覆盖设计、工艺、表征全链条
完整介绍
该实验室隶属于 HUN-REN 能源研究中心，主要目标是研发集成传感器与传感器系统，以及基于硅或聚合物微纳加工技术的 MEMS 与 BioMEMS 器件。研究活动涵盖新型功能材料、传感原理、工艺方案与面向应用的微纳系统开发与表征，并聚焦力学与化学（生化）传感器、功能微纳流控器件、可植入微系统、红外 LED 以及特定材料体系与量子电路。实验室拥有匈牙利独有的基础设施，在 10 级洁净室中运行微技术制造与表征系统，支持 3 英寸与 4 英寸硅、玻璃、聚合物衬底的 3D 加工，光刻最高 1 微米分辨率并可自制掩模，电子束光刻与聚焦离子束铣削可达 20 纳米分辨率；工艺线包括物理与化学薄膜沉积、湿法与等离子刻蚀、高温工艺、晶圆键合、划片、引线键合与传感器封装，并具备 3D 打印、CNC 铣削与热压印用于聚合物封装与微流控结构。多域有限元建模与工艺仿真支持结构设计，表征手段覆盖光学与电子显微、AFM、轮廓仪、电化学阻抗谱、微流控表征、振动与气候试验箱及多种光谱技术。实验室通过大量欧洲与国内研发项目与高校、研究中心和企业建立合作网络，并向工业伙伴提供技术开发与制造服务以提升技术成熟度（TRL 2 至 6），成果通过课程、实验课、TDK、毕业与博士论文直接进入高等教育，基础设施对学术与工业伙伴开放。
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